[实用新型]一种太阳能电池生产用硅片酸洗处理装置有效
申请号: | 201820113165.3 | 申请日: | 2018-01-24 |
公开(公告)号: | CN207705168U | 公开(公告)日: | 2018-08-07 |
发明(设计)人: | 黄燕辉 | 申请(专利权)人: | 广州科沃数控机床维修有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人: | 李静 |
地址: | 510000 广东省广州市天*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种太阳能电池生产用硅片酸洗处理装置,包括处理箱;所述处理箱的内腔分为酸洗腔和干燥腔;所述处理箱的上面设置有滑轨,滑轨上设置有滑块,滑块的上面设置有把手,滑块的下端设置有液压伸缩柱,液压伸缩柱的下端设置有放置网框;所述酸洗腔内底部设置有搅拌器;所述干燥腔内底部设置有干燥装置;所述处理箱的右侧下方连通设置有第二出水管;所述处理箱的两侧焊接有支撑架,支撑架的底部设置有地脚;本实用新型通过通过把手移动滑块,能实现放置网框的在酸洗腔和干燥腔内转换,在不磨损硅片的情况下,实现酸洗和干燥;通过干燥装置对放置网框内的硅片进行干燥;本装置具有结构简单、实用性强、酸洗效果好的特点。 | ||
搜索关键词: | 处理箱 硅片 酸洗 干燥腔 滑块 网框 太阳能电池生产 酸洗处理装置 本实用新型 干燥装置 伸缩柱 支撑架 滑轨 下端 把手 地脚 连通设置 酸洗效果 移动滑块 出水管 搅拌器 内腔 腔内 磨损 焊接 转换 | ||
【主权项】:
1.一种太阳能电池生产用硅片酸洗处理装置,包括处理箱(6);其特征在于,所述处理箱(6)的内腔中部设置有隔板(13);所述处理箱(6)的内腔分为酸洗腔(5)和干燥腔(14);所述处理箱(6)的上面设置有滑轨(12),滑轨(12)上设置有滑块(10),滑块(10)的上面设置有把手(11),滑块(10)的下端设置有液压伸缩柱(9),液压伸缩柱(9)的下端设置有放置网框(7);所述处理箱(6)的左侧上方连通设置有进水管(8),处理箱(6)的左侧下方连通设置有第一出水管(3);所述酸洗腔(5)内底部设置有搅拌器(4);所述干燥腔(14)内底部设置有干燥装置(16);所述干燥装置(16)包括出风板(20)、鼓气管(21)、鼓风机(22)、加热器(23)和过滤器(24);所述鼓风机(22)的右端通过鼓气管(21)和加热器(23)相连接,加热器(23)的右端通过鼓气管(21)和过滤器(24)相连接,鼓风机(22)的左端通过鼓气管(21)和出风板(20)相连接;所述处理箱(6)的右侧下方连通设置有第二出水管(15);所述处理箱(6)的两侧焊接有支撑架(2),支撑架(2)的底部设置有地脚(1)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造