[实用新型]准分子激光器窗片的更换装置

摘要

本实用新型一种涉及准分子激光器窗片的更换装置，包括一端开口的更换主腔体，更换主腔体的腔壁设有多个用于观测更换主腔体内部的观察窗、用于检测更换主腔体内部气压的气压计、抽真空通道、充气通道、多个指套孔和窗片室，抽真空通道和充气通道与更换主腔体内部相通，指套孔密封配有方便在更换主腔体内部进行窗片更换的操作指套。本实用新型能够显著降低准分子激光器窗片更换过程中卤素介质的扩散现象，能够有效避免零部件在大气暴露中发生污染，并可有效减少放电腔清洗的次数及其对操作人员的危害，免除钝化工艺或显著减少钝化时间，提高激光器的使用效率和能源的使用率。

主权项

1.准分子激光器窗片的更换装置，其特征在于，包括一端设有开口的更换主腔体，所述更换主腔体的腔壁设有多个用于观测更换主腔体内部的观察窗、用于检测更换主腔体内部气压的气压计、抽真空通道、充气通道、多个指套孔和存放窗片的窗片室，所述抽真空通道和所述充气通道与所述更换主腔体内部相通，所述指套孔密封配有方便在更换主腔体内部更换窗片的操作指套；所述窗片室包括多个容纳固定腔，所述窗片室的一端设有可拆卸窗片室盖板，实现所述多个容纳固定腔与更换主腔体的外部环境封闭或相通，所述窗片室的另一端设有移动滑块，实现所述多个容纳固定腔交替与更换主腔体的内部环境封闭或相通。