[实用新型]一种大质量块梳齿电容式三轴加速度传感器有效
| 申请号： | 201820133422.X | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN207832823U | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 蔡德卿;马文英;刘玲;杨瑞涛 | 申请（专利权）人： | 成都信息工程大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 詹永斌;易小艺 |
| 地址： | 610225 四川省成都市双*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种大质量块的梳齿电容式加速度传感器，包括设有衬底、大质量敏感器件、两个弹性折叠梁、固定支柱和锚点，大质量敏感器件呈“回”字形，四周和内部带有M对可动梳齿，固定支柱一侧带有固定梳齿；所述固定支柱设于大质量敏感器件四周和内部，可动梳齿和固定梳齿采用偏置放置，并有一定的活动间隙；大质量敏感器件的上侧和下侧分别与弹性折叠梁连接，每个弹性折叠梁的另一端和锚点固定连接，使大质量敏感器件和衬底悬空，用于加速度的测量；固定支柱和锚点设于衬底上。本实用新型采用大质量敏感器件来提高了器件的量程，巧妙的器件参数在减小耦合的同时还提高了器件灵敏度，有效的减少了外力对芯片的应力损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 敏感器件 固定支柱 弹性折叠 衬底 锚点 本实用新型 固定梳齿 可动梳齿 梳齿电容 质量块 三轴加速度传感器 加速度传感器 器件灵敏度 活动间隙 器件参数 应力损伤 耦合的 减小 量程 偏置 悬空 测量 芯片 | ||
【主权项】：
1.一种大质量块梳齿电容式三轴加速度传感器，其特征在于：包括设有衬底、大质量敏感器件、两个弹性折叠梁、固定支柱和锚点，大质量敏感器件呈“回”字形，四周和内部带有M对可动梳齿，固定支柱一侧带有固定梳齿；所述固定支柱设于大质量敏感器件四周和内部，可动梳齿和固定梳齿采用偏置放置，并有一定的活动间隙；大质量敏感器件的上侧和下侧分别与弹性折叠梁连接，每个弹性折叠梁的另一端和锚点固定连接，使大质量敏感器件和衬底悬空，用于加速度的测量；固定支柱和锚点设于衬底上。
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