[实用新型]一种基于离子束溅射薄膜的堵片传感器有效
| 申请号： | 201820133621.0 | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN207717276U | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 戚云娟;邓勇生;潘婷;王文卷;聂俊 | 申请（专利权）人： | 陕西电器研究所 |
| 主分类号： | G01L9/02 | 分类号： | G01L9/02 |
| 代理公司： | 西安文盛专利代理有限公司 61100 | 代理人： | 李中群 |
| 地址： | 710025 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基于离子束溅射薄膜的堵片传感器，包括一个由聚酰亚胺绝缘材料制作的基底，在基底表面设置有一层由Ti薄膜材料制作的过渡膜层，在过渡膜层上表面的中间区域制作有由Cu薄膜材料制作的电阻应变计导电膜层，在电阻应变计导电膜层上设有一层由Si3N4薄膜材料制作的保护膜层，在保护膜层上表面的两侧各设有一块与电阻应变计导电膜层两端引出电极连通的电极膜片。本实用新型可使堵片传感器的灵敏度，分辨率、测量范围小、测量精度等得到提高，可实现对堵片打开信号的可靠、稳定测量，满足航天飞行器发动机控制系统信号测试需要。 | ||
| 搜索关键词： | 堵片 电阻应变计 导电膜层 传感器 本实用新型 离子束溅射 薄膜材料 保护膜层 过渡膜层 制作 上表面 薄膜 测量 发动机控制系统 两端引出电极 航天飞行器 电极膜片 基底表面 聚酰亚胺 绝缘材料 稳定测量 信号测试 中间区域 灵敏度 分辨率 基底 连通 | ||
【主权项】：
1.一种基于离子束溅射薄膜的堵片传感器，其特征在于：包括一个由聚酰亚胺绝缘材料制作的基底(1)，在基底(1)表面设置有一层由Ti薄膜材料制作的过渡膜层(2)，在过渡膜层(2)上表面的中间区域制作有由Cu薄膜材料制作的电阻应变计导电膜层(3)，在电阻应变计导电膜层(3)上设有一层由Si3N4薄膜材料制作的保护膜层(4)，在保护膜层(4)上表面的两侧各设有一块与电阻应变计导电膜层(3)两端引出电极连通的电极膜片(5)，所述的电极膜片(5)由Au薄膜材料制作。
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