[实用新型]一种光刻多次曝光装置

摘要

本实用新型公开了一种光刻多次曝光装置，包括平台、涂胶装置及刻蚀装置，平台上端的中间设有曝光装置，平台左、右端分别设有第一、第二连接块，第一连接块右侧和曝光装置左侧之间设有第一横向导轨，第二连接块左侧和曝光装置右侧之间设有第二横向导轨，第一、第二横向导轨之间连接有第一、第二电动滑动块，两电动滑动块的上端分别设有第一、第二装夹台，第一连接块的右侧及第二连接块的左侧，分别通过第一、第二机械手安装有涂胶装置及刻蚀装置；同时，第一、第二连接块之间设有一可向下发射黄光的发光装置；本实用新型采用机械手自动装夹、涂胶、刻蚀装置、曝光装置以及黄光照射结构，进行一次涂胶结合多次曝光与加工，大大降低了生产成本，提高了加工效率。

主权项

1.一种光刻多次曝光装置，包括一平台，一涂胶装置以及一刻蚀装置，所述平台底部设有真空吸盘，所述平台上端的中间设有曝光装置，所述平台左端和右端分别设有呈竖向的第一连接块和第二连接块，所述第一连接块右侧和曝光装置左侧之间设有第一横向导轨，所述第二连接块左侧和曝光装置右侧之间设有第二横向导轨，所述第一横向导轨和第二横向导轨之间分别滑动连接有基于伺服控制的第一电动滑动块和第二电动滑动块，所述第一电动滑动块和第二电动滑动块的上端分别设有第一装夹台和第二装夹台，其特征在于，所述第一连接块的右侧以及第二连接块的左侧，分别设有基于伺服控制的第一机械手和第二机械手，所述第一机械手的活动端安装有涂胶装置，所述第二机械手的活动端安装有刻蚀装置；同时，所述第一连接块和第二连接块之间设有一可向下发射黄光的发光装置。