[实用新型]MEMS压电扬声器有效
| 申请号： | 201820140812.X | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN207993902U | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 李俊红 | 申请（专利权）人： | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/47 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 曹玲柱 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥市新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS压电扬声器，包括：基底，其中央区域为空心区域；有机振动膜层，位于基底的空心区域的上方，与基底存在间距；以及结构梁，呈辐条状分布，形成于基底之上，支撑有机振动膜，该结构梁自下而上依次包含：复合介质层和压电单元，在结构梁之间的空隙部分为结构槽；其中，结构梁和有机振动膜层构成压电复合振动膜。该MEMS压电扬声器的结构槽使得压电复合振动膜的应力得到释放，同时结构梁上的压电单元在电负载的作用下，使得压电复合振动膜容易产生较大幅度的振动，从而提高压电扬声器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 结构梁 压电扬声器 振动膜 基底 压电复合 空心区域 压电单元 振动膜层 结构槽 本实用新型 辐条状分布 复合介质层 中央区域 灵敏度 电负载 释放 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS压电扬声器，包括：基底，其中央区域为空心区域；有机振动膜层，位于基底的空心区域的上方，与基底存在间距；以及结构梁，呈辐条状分布，形成于基底之上，支撑有机振动膜，该结构梁自下而上依次包含：复合介质层和压电单元，在结构梁之间的空隙部分为结构槽；其中，所述结构梁和有机振动膜层构成压电复合振动膜。
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