[实用新型]一种低能耗链式传输真空刻蚀和镀膜设备

摘要

本实用新型公开了一种低能耗链式传输真空刻蚀和镀膜设备，包括按工艺顺序依次设置的装载腔、工艺腔及卸载腔，工艺腔通过泵管路对应设置有工艺泵；装载腔与卸载腔通过泵管路连接至同一台真空泵，通过控制载板进出装载腔和卸载腔的节拍和流程并充分利用真空泵工作间歇时间以实现一个真空泵同时服务于装载腔和卸载腔；且当设备由于故障出现装载腔和卸载腔节拍干涉时，通过程序控制卸载腔优先工作以保证设备工艺顺畅，从而使设备恢复到正常的生产节拍。通过一台真空泵协调控制装载腔及卸载腔，节省一台真空泵的制造费用和硬件控制器件投入，且大大减少装载腔和卸载腔回填气体的消耗，并有效减少设备占地空间及使用方成本。

主权项

1.一种低能耗链式传输真空刻蚀和镀膜设备，其特征在于，包括：按工艺顺序依次设置的装载腔、工艺腔及卸载腔，所述工艺腔通过泵管路对应设置有工艺泵；所述装载腔与卸载腔通过泵管路连接至同一台真空泵，所述真空泵的同一个进出口设置的泵管路分为两路并联的泵管支路分别连接至所述装载腔与卸载腔，并在所述装载腔及卸载腔的泵管支路入口处设置阀门以实现交替控制所述装载腔与卸载腔。