[实用新型]一种具有CCD快速聚焦的激光表面微加工装置

摘要

本实用新型针对激光微加工时焦点找正过于繁琐的问题，提供一种具有CCD快速聚焦的激光表面微加工装置。包括：大理石支撑板1、大理石底座2、激光器3、导轨滑块一41、导轨滑块二42、导轨滑块三43、导轨滑块四44、导轨滑块五45、导轨滑块六46、反射镜一51、反射镜二52和反射镜三53、CCD相机6、二向色镜7、扩束镜8、聚焦镜9、环形LED光源10、XY轴移动平台11和Z轴移动平台12。其特征是：反射镜三53、CCD相机6、二向色镜7和Z轴移动平台12安装在大理石支撑板1上，反射镜一51、反射镜二52、激光器3和XY轴移动平台11安装在大理石底座2上，扩束镜8和聚焦镜9安装在Z轴移动平台12上。XY轴移动平台11、Z轴移动平台12和CCD相机6由PC控制。

主权项

1.一种具有CCD快速聚焦的激光表面微加工装置，主要包括：大理石支撑板(1)、大理石底座(2)、激光器(3)、导轨滑块一(41)、导轨滑块二(42)、导轨滑块三(43)、导轨滑块四(44)、导轨滑块五(45)、导轨滑块六(46)、反射镜一(51)、反射镜二(52)和反射镜三(53)、CCD相机(6)、二向色镜(7)、扩束镜(8)、聚焦镜(9)、环形LED光源(10)、XY轴移动平台(11)和Z轴移动平台(12)，其特征是：所述大理石支撑板(1)和大理石底座(2)为整套装置的机架，通过在所述大理石支撑板(1)和大理石底座(2)上镶嵌螺纹孔，使激光器、移动平台和各组件能够定位安装在大理石支撑板(1)和大理石底座(2)上；其中，XY轴移动平台(11)和激光器(3)分别安装在大理石支撑板(1)的前后两侧，通过在大理石支撑板(1)的一侧开一个较大的圆形通孔使得从激光器(3)发出的激光光束能够通过反射镜传导至大理石支撑板(1)的前侧，再利用反射镜的若干次反射、扩束镜(8)和聚焦镜(9)的先后作用使光斑聚焦在XY轴移动平台(11)的工作台上，从而进行加工；导轨滑块是通过螺纹紧固件定位到安装面的，其中，导轨滑块一(41)和导轨滑块二(42)分别安装在大理石底座(2)面板上的前后两侧，导轨滑块三(43)、导轨滑块四(44)和导轨滑块五(45)均安装在大理石支撑板(1)上，导轨滑块六(46)安装于Z轴移动平台(12)上；反射镜一(51)、反射镜二(52)和反射镜三(53)、CCD相机(6)、二向色镜(7)、扩束镜(8)和聚焦镜(9)都是通过螺纹紧固件安装在导轨滑块上；XY轴移动平台(11)、Z轴移动平台(12)和CCD相机(6)由PC控制，通过人工操作PC实现XY轴移动平台(11)和Z轴移动平台(12)的位移、CCD相机(6)的寻焦、激光器(3)的工作。