[实用新型]多焦点动态分布激光加工脆性透明材料的装置

摘要

本实用新型涉及多焦点动态分布激光加工脆性透明材料的装置，激光器输出光束，扩束镜对光束的直径及发散角度进行连续调节，第一反射单元将光束反射至激光光束首次整形装置，光束首次整形装置将能量呈高斯分布的激光光束进行光束整形，整形后的光束能量分布于一个或多个环形区域内，光束二次整形装置将光束进行再次整形，对激光光束能量分布及大小调节，动态控制焦点分布范围，第二反射单元将光束入射至聚焦镜，对光束聚焦，光束形成有限范围内分布的多焦点，焦点分布范围包含被加工对象；X‑Y轴运动平台，承载被加工对象，相对于聚焦镜运动。基于激光应力诱导切割技术的延展技术通过增加沿光轴方向的焦点数量实现脆性透明材料的加工。

主权项

1.多焦点动态分布激光加工脆性透明材料的装置，其特征在于：依光路方向设置有：激光器(1)，输出光束；扩束镜(4)，对从激光器(1)输出光束的直径及发散角度进行连续调节；第一反射单元，将扩束镜(4)出射的光束反射至激光光束首次整形装置(7)；光束首次整形装置(7)，将能量呈高斯分布的激光光束进行光束整形，整形后的光束能量分布于一个环形或多个环形区域内；光束二次整形装置(8)，将首次整形过后的激光光束进行再次整形，对激光光束能量分布及大小调节，动态控制焦点分布范围；第二反射单元，将二次整形后激光光束入射至聚焦镜(11)；聚焦镜(11)，将第二反射单元反射的光束进行聚焦，激光光束形成有限范围内分布的多焦点，焦点分布范围包含被加工对象；X‑Y轴运动平台(2)，承载被加工对象，相对于聚焦镜(11)运动。