[实用新型]一种高纯稀有气体气瓶预处理系统

摘要

本实用新型涉及一种高纯稀有气体气瓶预处理系统，包括装有气瓶组的烘箱、高压氮气供应装置和回收气囊；高压氮气供应装置通过主管道与气瓶组连接，主管道上分别连接放空管和支管道，支管道与回收气囊连接；主管道上安装有气体控制阀，支管道上安装有回收控制阀，放空管上安装有放空阀；采用该系统进行气瓶预处理方法包括气瓶内存留稀有气体的回收、气瓶内微水及微氧残留的控制和气瓶抽检分析步骤。本实用新型使高纯稀有气体气瓶预处理的效率得到大幅提升，同时也大幅降低了人工成本。

主权项

1.一种高纯稀有气体气瓶预处理系统，其特征在于：它包括装有气瓶组（4）的烘箱（1）、高压氮气供应装置和回收气囊（2）；高压氮气供应装置通过主管道（3）与气瓶组（4）连接，主管道（3）上分别连接放空管（5）和支管道（6），支管道（6）与回收气囊（2）连接；主管道（3）上安装有气体控制阀（7），支管道（6）上安装有回收控制阀（8），放空管（5）上安装有放空阀（9）。