[实用新型]样品架有效
| 申请号： | 201820171028.5 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN207818543U | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 郭逦达;赵树利;叶亚宽;杨立红 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 刘诚 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及样品架，所述样品架包括限位架、托架和立架，所述限位架以及所述托架连接于所述立架并通过所述立架相互间隔设置；其中，所述限位架包括第一框体，所述第一框体内开设有第一开口，所述第一框体形成所述第一开口的两相对侧内壁上分别形成有至少一限位凸起，每一所述限位凸起的至少一侧形成有限位槽，所述第一框体两相对内侧的所述限位槽一一对应。本实用新型样品架结构简单，可同时清洗和处理多个样片，样品架中限位架和托架的相互间隔设置减少了样品架的镂空和网格部分，在多步处理过程中，不易残留上一步用到的溶液，样品架方便取出、拆装和清洗，给实验室规模的半导体材料研发和制备带来了极大的便利。 | ||
| 搜索关键词： | 样品架 限位架 框体 立架 托架 本实用新型 间隔设置 限位凸起 清洗 开口 半导体材料 镂空 侧内壁 限位槽 网格 拆装 位槽 研发 制备 取出 残留 体内 便利 | ||
【主权项】：
1.一种样品架，其特征在于，所述样品架包括限位架、托架和立架，所述限位架以及所述托架连接于所述立架并通过所述立架相互间隔设置；其中，所述限位架包括第一框体，所述第一框体内开设有第一开口，所述第一框体形成所述第一开口的两相对侧内壁上分别形成有至少一限位凸起，每一所述限位凸起的至少一侧形成有限位槽，所述第一框体两相对内侧的所述限位槽一一对应。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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