[实用新型]用于在基底的表面上形成涂层的装置

摘要

本实用新型涉及一种用于在基底的表面上形成涂层的装置。该装置包括沉积室(100)以及至少一个雾化器(10)，其中沉积室(100)具有顶壁(101)和从顶壁(101)向下延伸的至少一个侧壁(102)以限定出沉积空间(200)。该至少一个侧壁(102)包括内侧壁表面(103)和设置于至少一个侧壁(102)上并横向于竖直方向延伸的纵向凹槽(110)，该纵向凹槽(110)从内侧壁表面朝向沉积室(100)的沉积空间(200)的外部凹入至少一个侧壁(102)中，该纵向凹槽(110)具有凹槽底部(120)和从凹槽底部(120)向上延伸的相对的凹槽侧壁(122、124)以便形成流动通道。根据本实用新型，该装置防止凝结到沉积室的侧壁上的液体微滴流向待涂覆的基底上。

主权项

1.一种用于在基底的表面上形成涂层的装置(1)，所述装置包括：‑沉积室(100)，所述沉积室(100)具有顶壁(101)和从所述顶壁(101)向下延伸的至少一个侧壁(102)，所述顶壁(101)和所述至少一个侧壁(102、202)限定出在所述沉积室(100)内的沉积空间(200、200a、200b)，以及‑至少一个雾化器(10)，所述至少一个雾化器(10)用于将液相先驱体雾化成微滴以形成气溶胶，其特征在于，所述至少一个侧壁(102、202)包括：‑内侧壁表面(103)；‑纵向凹槽(110、210)，所述纵向凹槽(110、210)设置于所述至少一个侧壁(102、202)上并且横向于竖直方向延伸，所述纵向凹槽(110、210)从所述内侧壁表面(103、203)朝向所述沉积室(100)的所述沉积空间(200、200a、200b)的外部凹入所述至少一个侧壁(102、202)中，所述纵向凹槽(110、210)具有凹槽底部(120)和从所述凹槽底部(120)向上延伸的相对的凹槽侧壁(122、124)，以便形成流动通道。