[实用新型]用于激光微孔加工的光束扫描系统有效
| 申请号： | 201820179610.6 | 申请日： | 2018-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN208289223U | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 姜宝宁;王宁;王自;康伟;贺斌;杨小君 | 申请（专利权）人： | 西安中科微精光子制造科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/082 | 分类号： | B23K26/082;B23K26/382 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 710119 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于激光微孔加工的光束扫描系统，该光束扫描系统包括发射激光束的激光器模块，还包括：光束二维扫描模块、光束横移模块、光束二维扫描模块驱动系统、光束横移模块驱动系统，聚焦镜、协同控制系统。本实用新型的系统实时检测光束横移模块的当前相位，对光束横移模块的当前相位和预设的光束二维扫描模块扫描轨迹进行矢量解析，解决了机械特性差异大带来的同步控制的难题，并能消除累积误差，较好的保证其长期同步精度。 | ||
| 搜索关键词： | 横移 二维扫描模块 光束扫描系统 激光微孔加工 本实用新型 协同控制系统 激光器模块 累积误差 模块驱动 驱动系统 扫描轨迹 实时检测 同步控制 矢量 激光束 聚焦镜 预设 解析 发射 保证 | ||
【主权项】：
1.一种用于激光微孔加工的光束扫描系统，包括发射激光束的激光器模块，其特征在于，还包括：光束二维扫描模块，用于对入射的激光光束进行扫描运动；光束横移模块，用于对入射的激光光束进行横向平移；光束二维扫描模块驱动系统，被配置成驱动所述光束二维扫描模块；光束横移模块驱动系统，被配置成驱动所述光束横移模块；聚焦镜；协同控制系统，分别与所述激光器模块、所述光束二维扫描模块驱动系统、所述光束横移模块驱动系统电性连接，控制入射的激光光束依次通过所述光束二维扫描模块、光束横移模块、聚焦镜后对XY二维平面进行微孔加工。
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