[实用新型]一种带加热装置的溅射镀膜装置有效
| 申请号： | 201820184549.4 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN207987322U | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 余海春;戴秀海;马淑莹 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 徐小蓉 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种带加热装置的溅射镀膜装置，其特征在于：在所述溅射源的一侧设置有加热装置，所述加热机构与所述镀膜腔室内部相连通以对所述镀膜腔室内部进行加热。本实用新型的优点是：在成膜前先进行加热烘烤，可以高温烘烤除水汽，更可以使溅射环境温度稳定，优化膜系；温度达到多层膜溅射工艺过程中的最高温度，使其在除气的同时，保证整个工艺过程温度稳定，从而优化膜系。 | ||
| 搜索关键词： | 加热装置 溅射镀膜装置 本实用新型 工艺过程 温度稳定 镀膜腔 室内部 溅射 膜系 薄膜制备技术 高温烘烤 加热烘烤 加热机构 水汽 多层膜 溅射源 成膜 除气 加热 优化 保证 | ||
【主权项】：
1.一种带加热装置的溅射镀膜装置，所述溅射镀膜装置包括镀膜腔室，在所述镀膜腔室内设置有旋转基板架，在所述镀膜腔室侧壁设置有至少一个溅射源，其特征在于：在所述溅射源的一侧设置有加热装置，所述加热装置与所述镀膜腔室内部相连通以对所述镀膜腔室内部进行加热。
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