[实用新型]一种坩锅托盘温度泵有效
| 申请号： | 201820184654.8 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN208087787U | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 叶宏伦;洪天河;张本义;刘崇志;钟其龙 | 申请（专利权）人： | 厦门润晶光电集团有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人： | 李宁 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种坩锅托盘温度泵，设置在坩锅底面和托盘的接触面下端的支撑柱上，在支撑柱上开小孔，利用温度差自然形成一个吸气泵。当接触面存有缝隙时，因为托盘是一个冷点，此处的压力相对外部低，形成了一个吸气的现象，使蒸镀物易渗入接触面，本实用新型利用巴斯卡定理，在托盘接触面的下端制造一个吸气泵，把周边的蒸镀物吸进，并在接触面周围形成一个被隔离区，减少蒸镀物渗入接触面。 | ||
| 搜索关键词： | 托盘 蒸镀 本实用新型 吸气泵 支撑柱 坩锅 渗入 自然形成 吸气 隔离区 锅底面 开小孔 温度差 冷点 下端 外部 制造 | ||
【主权项】：
1.一种坩锅托盘温度泵，其特征在于：设置在坩锅底面和托盘的接触面下端的支撑柱上，在支撑柱上开小孔，利用温度差自然形成一个吸气泵。
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