[实用新型]一种硅片清洗机无底篮有效
| 申请号： | 201820188482.1 | 申请日： | 2018-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN208146560U | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 郭伟;周炎;王海庆 | 申请（专利权）人： | 镇江环太硅科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 任立 |
| 地址： | 212200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片清洗机无底篮，涉及硅片清洗技术领域，包括篮筐本体，所述篮筐本体包括硅片花篮放置结构和支撑结构，所述支撑结构与硅片花篮放置结构连接且所述支撑结构位于硅片花篮放置结构下方，所述支撑结构的底部敞口设置；所述硅片花篮放置结构包括边框以及设置在边框中部的档杆组，所述档杆组至少有一组，每组档杆组由两根档杆组成，所述边框的一条侧边向边框内部平移。本实用新型将硅片的摆放位置向内缩进，从而保证了硅片的清洗质量。 | ||
| 搜索关键词： | 放置结构 硅片花篮 支撑结构 边框 档杆 本实用新型 硅片清洗机 篮筐本体 硅片 平移 摆放位置 边框中部 底部敞口 硅片清洗 侧边 杆组 缩进 向内 组档 清洗 保证 | ||
【主权项】：
1.一种硅片清洗机无底篮，包括篮筐本体(1)，其特征在于：所述篮筐本体(1)包括硅片花篮放置结构(2)和支撑结构(3)，所述支撑结构(3)与硅片花篮放置结构(2)连接且所述支撑结构(3)位于硅片花篮放置结构(2)下方，所述支撑结构(3)的底部敞口设置；所述硅片花篮放置结构(2)包括边框(4)以及设置在边框(4)中部的档杆组，所述档杆组至少有一组，每组档杆组由两根档杆(5)组成，所述边框(4)的一条侧边向边框(4)内部平移。
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