[实用新型]一种MEMS加速度计有效

专利信息
申请号: 201820191042.1 申请日: 2018-02-05
公开(公告)号: CN207964857U 公开(公告)日: 2018-10-12
发明(设计)人: 李桂新;张平 申请(专利权)人: 安徽微泰导航电子科技有限公司
主分类号: G01P1/00 分类号: G01P1/00;G01P15/02
代理公司: 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 代理人: 金波
地址: 247100 安徽省池*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开了一种MEMS加速度计,包括上衬底与下衬底,所述上衬底的一侧外表面固定安装有散热侧衬底,所述上衬底的上端外表面一侧固定安装有金属引脚,且上衬底靠近金属引脚一侧的上端外表面设有螺钉,所述金属引脚的上端活动安装有引脚橡胶帽,且引脚橡胶帽的上端外表面固定安装有拉环,所述引脚橡胶帽靠近金属引脚的外表面固定安装有套环,所述下衬底设置在上衬底的下方,且下衬底靠近散热侧衬底的外表面设有边框。本实用新型所述的一种MEMS加速度计,设有引脚橡胶帽、散热侧衬底和热敏电阻,能够防止运输途中损坏引脚,并能将仪器产生的热量散发出去,而且能够保护内部电路,带来更好的使用前景。
搜索关键词: 上衬 引脚 金属引脚 橡胶帽 上端外表面 散热 侧衬 衬底 本实用新型 边框 活动安装 内部电路 热量散发 热敏电阻 螺钉 上端 拉环 套环 运输
【主权项】:
1.一种MEMS加速度计,包括上衬底(1)与下衬底(6),其特征在于:所述上衬底(1)的一侧外表面固定安装有散热侧衬底(4),所述上衬底(1)的上端外表面一侧固定安装有金属引脚(3),且上衬底(1)靠近金属引脚(3)一侧的上端外表面设有螺钉(2),所述金属引脚(3)的上端活动安装有引脚橡胶帽(7),且引脚橡胶帽(7)的上端外表面固定安装有拉环(8),所述引脚橡胶帽(7)靠近金属引脚(3)的外表面固定安装有套环(9),所述下衬底(6)设置在上衬底(1)的下方,且下衬底(6)靠近散热侧衬底(4)的外表面设有边框(5),所述下衬底(6)通过边框(5)和散热侧衬底(4)与上衬底(1)固定连接,所述下衬底(6)的内部中间位置处固定安装有放大器(15),且下衬底(6)靠近放大器(15)上方的内壁固定安装有力矩器(14),所述放大器(15)靠近力矩器(14)一侧的上端外表面固定安装有加速度传感器(13),所述放大器(15)的前端外表面固定安装有芯片(12),所述下衬底(6)靠近芯片(12)一侧的内壁固定安装有热敏电阻(10),且芯片(12)与热敏电阻(10)之间的位置处固定安装有导线(11)。
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