[实用新型]一种棱镜真空镀膜系统有效
| 申请号： | 201820196529.9 | 申请日： | 2018-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN207998636U | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 秦靖 | 申请（专利权）人： | 昆明爱美科光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 650000 云南省昆明市高新*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及棱镜加工技术领域。目的在于提供一种能够提高镀膜均匀度的棱镜真空镀膜系统。本实用新型所采用的技术方案是：一种棱镜真空镀膜系统，包括镀膜箱的箱体和箱门。箱体内的中部由下至上依次设置有与箱体相配合的第一横板和第二横板，所述第一横板呈格栅状，所述第二横板的中心设置圆形的通孔，所述通孔内设置布气盘，所述布气盘的下部通过轴承与第二横板连接。所述布气盘顶部的边缘设置一圈齿环，所述齿环与齿轮啮合，所述齿轮由固定设置在箱体内侧壁的第一电机驱动，所述布气盘上均匀设置若干布气孔。本实用新型能够极大的提高镀膜气体在箱体内分布的均匀度，使镀膜更加的均匀，提高了镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 横板 棱镜 布气盘 真空镀膜系统 本实用新型 镀膜 均匀度 通孔 加工技术领域 箱体内侧壁 边缘设置 齿轮啮合 电机驱动 镀膜气体 固定设置 均匀设置 依次设置 中心设置 布气孔 镀膜箱 格栅状 圈齿环 齿轮 齿环 箱门 轴承 配合 | ||
【主权项】：
1.一种棱镜真空镀膜系统，包括镀膜箱的箱体（1）和箱门（2），其特征在于：所述箱体（1）的顶部设置真空泵（3），所述真空泵（3）通过抽真空管与箱体（1）内部连通；所述箱体（1）内的顶部设置棱镜夹持机构、底部设置镀膜蒸发器（4），箱体（1）内的中部由下至上依次设置有与箱体（1）相配合的第一横板（5）和第二横板（6），所述第一横板（5）呈格栅状，所述第二横板（6）的中心设置圆形的通孔，所述通孔内设置布气盘（7），所述布气盘（7）的下部通过轴承与第二横板（6）连接；所述布气盘（7）顶部的边缘设置一圈齿环（8），所述齿环（8）与齿轮啮合，所述齿轮由固定设置在箱体（1）内侧壁的第一电机（9）驱动，所述布气盘（7）上均匀设置若干布气孔（10）。
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