[实用新型]一种光辐照悬空电容的装置有效
申请号: | 201820201312.2 | 申请日: | 2018-02-06 |
公开(公告)号: | CN207895147U | 公开(公告)日: | 2018-09-21 |
发明(设计)人: | 孙国柱;戴欣;李永超;江俊良;潘佳政;吴培亨 | 申请(专利权)人: | 南京大学 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08 |
代理公司: | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 杨林洁 |
地址: | 219903 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种光辐照悬空电容的装置,包括:用于承载悬空电容样品的无氧铜腔体;用于承载所述无氧铜腔体的支撑装置;光纤移动装置;其中,所述无氧铜腔体固定在支撑装置上,无氧铜腔体内部安放悬空电容样品;所述支撑装置固定在CCD平台的基座上;所述光纤移动装置固定在CCD平台的移动平台上,且位于无氧铜腔体的下方。本实用新型还公开了一种光辐照悬空电容的方法。本实用新型很方便地实现了将平行光束对准微尺度的悬空电容。 | ||
搜索关键词: | 无氧铜 悬空 电容 腔体 本实用新型 支撑装置 光辐照 电容样品 光纤移动 承载 平行光束 腔体内部 移动平台 装置固定 微尺度 对准 | ||
【主权项】:
1.一种光辐照悬空电容的装置,其特征在于,包括:用于承载悬空电容样品(402)的无氧铜腔体(308);用于承载所述无氧铜腔体(308)的支撑装置(309);光纤移动装置(310);其中,所述无氧铜腔体(308)固定在支撑装置(309)上,无氧铜腔体(308)的内部安放悬空电容样品(402);所述支撑装置(309)固定在CCD平台的基座上;所述光纤移动装置(310)固定在CCD平台的移动平台上,且位于无氧铜腔体(308)的下方。
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