[实用新型]一种红外光学盲元结构有效
| 申请号： | 201820202155.7 | 申请日： | 2018-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN207751597U | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 王大甲;许勇;周龙飞 | 申请（专利权）人： | 无锡元创华芯微机电有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/08 | 分类号： | G01J5/08 |
| 代理公司： | 上海襄荣专利代理事务所(特殊普通合伙) 31329 | 代理人： | 祝辽原 |
| 地址： | 214200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种红外光学盲元结构，属于红外探测技术领域。包括衬底，探测器像元，真空悬置在所述衬底的上方；所述探测器像元的数量为若干个，所述探测器像元通过立柱与所述衬底连接；红外光学阻挡结构，真空悬置在所述探测器像元的上方，并通过支撑柱与所述衬底连接，以避免所述探测器像元吸收到外界的红外热辐射；所述红外光学阻挡结构包括钝化层和红外辐射反射金属层；其中，所述红外光学阻挡结构与所述衬底构成中空部的盒状结构，所述探测器像元悬浮在中空部内；所述红外光学阻挡结构与探测器像元之间存在真空间隙；所述红外光学阻挡结构设置有若干个释放通道。以满足探测器电路除电阻阻值之外的进一步要求。 | ||
| 搜索关键词： | 探测器像元 红外光学 阻挡结构 衬底 中空部 悬置 红外辐射反射 红外探测技术 本实用新型 红外热辐射 探测器电路 盒状结构 真空间隙 钝化层 金属层 支撑柱 电阻 立柱 悬浮 释放 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种红外光学盲元结构，其特征在于，包括:衬底，探测器像元，真空悬置在所述衬底的上方；所述探测器像元的数量为若干个，所述探测器像元通过立柱与所述衬底连接；红外光学阻挡结构，真空悬置在所述探测器像元的上方，并通过支撑柱与所述衬底连接，以避免所述探测器像元吸收到外界的红外热辐射；所述红外光学阻挡结构包括钝化层和红外辐射反射金属层；其中，所述红外光学阻挡结构与所述衬底构成中空部的盒状结构，所述探测器像元悬浮在中空部内；所述红外光学阻挡结构与探测器像元之间存在真空间隙；所述红外光学阻挡结构设置有若干个释放通道。
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