[实用新型]一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构

摘要

本实用新型公开了一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构，涉及太阳能电池设备技术领域；包括反应腔和炉门，所述的反应腔具有用于容纳石墨舟的内腔以及与内腔相连通炉口，该炉口的顶部设置有一遮挡部位，该遮挡部位用于减小反应腔内的热量流失；所述的炉门盖在炉口处，且炉口朝向炉门的面上设置有环形的凹槽，该环形的凹腔设置有密封圈，所述的炉门压紧在密封圈上，将反应腔的炉口密封；本实用新型的有益效果是：能够减缓在炉门打开后反应腔内的热量流失，避免对反应腔的温度造成影响，节省了石墨舟放入反应腔内加热的时间，从而降低了能耗，提高了生产效率。

主权项

1.一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构，其特征在于：包括反应腔和炉门，所述的反应腔具有用于容纳石墨舟的内腔以及与内腔相连通炉口，该炉口的顶部设置有一遮挡部位，该遮挡部位用于减小反应腔内的热量流失；所述的炉门盖在炉口处，且炉口朝向炉门的面上设置有环形的凹槽，该环形的凹腔设置有密封圈，所述的炉门压紧在密封圈上，将反应腔的炉口密封。