[实用新型]一种管式PECVD的炉门调节机构

摘要

本实用新型公开了一种管式PECVD的炉门调节机构，涉及太阳能电池设备技术领域；包括炉门、推杆、波纹管以及调节组件，该调节组件包括支撑板和调节螺杆；所述的支撑板和炉门上均设置有用于使推杆穿过的通孔，所述的波纹管套在推杆上，且波纹管的一端固定安装在支撑板上，波纹管的另一端压在所述的炉门上，所述炉门用于在推杆的推力作用下盖在反应容腔的炉口处；所述调节螺杆的一端活动安装在炉门上，且调节螺杆的另一端与所述的支撑板螺纹连接，通过调节螺杆调节所述炉门盖在炉口上的平整度；本实用新型的有益效果是：能够达到炉门的快捷安装，提高了反应容腔的密封性能，同时便于对炉门进行调试。

主权项

1.一种管式PECVD的炉门调节机构，其特征在于：包括炉门、推杆、波纹管以及调节组件，该调节组件包括支撑板和调节螺杆；所述的支撑板和炉门上均设置有用于使推杆穿过的通孔，所述的波纹管套在推杆上，且波纹管的一端固定安装在支撑板上，波纹管的另一端压在所述的炉门上，所述炉门用于在推杆的推力作用下盖在反应容腔的炉口处；所述调节螺杆的一端活动安装在炉门上，且调节螺杆的另一端与所述的支撑板螺纹连接，通过调节螺杆调节所述炉门盖在炉口上的平整度。