[实用新型]一种双锚晶振片制造装置有效

专利信息
申请号: 201820224607.1 申请日: 2018-02-08
公开(公告)号: CN207882649U 公开(公告)日: 2018-09-18
发明(设计)人: 周朱华;王祖勇 申请(专利权)人: 嘉兴晶控电子有限公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 代理人: 李伊飏
地址: 314000 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种双锚晶振片制造装置,包括底架和工作台,所述工作台固定连接于底架上端,所述底架内部上端设置有抽风机且抽风机设置有两组,所述工作台上端表面设置有通孔,所述工作台内部两侧设置有过滤网,所述工作台两侧固定连接连接管,所述底架内部下端设置有加热腔且加热腔与抽风机管道连接,所述加热腔内壁两侧固定连接电热板,所述底架一端表面固定连接蓄电池,所述蓄电池一端表面设置有开关,所述工作台一端表面固定连接立柱。本实用新型通过设置抽风机,人工通过开关开启抽风机时,抽风机通过连接管抽取工作台内部的空气,使工作台内部气压小于外界气压产生吸附力后,通过通孔能够将物料吸附在工作台上进行固定。
搜索关键词: 工作台 抽风机 底架 加热腔 蓄电池 本实用新型 表面固定 制造装置 上端 晶振片 通孔 表面设置 管道连接 开关开启 连接立柱 两侧设置 内壁两侧 内部气压 上端表面 外界气压 物料吸附 电热板 固定连 过滤网 连接管 吸附力 两组 下端 抽取 接管
【主权项】:
1.一种双锚晶振片制造装置,包括底架(1)和工作台(2),所述工作台(2)固定连接于底架(1)上端,其特征在于:所述底架(1)内部上端设置有抽风机(12)且抽风机(12)设置有两组,所述工作台(2)上端表面设置有通孔(3),所述工作台(2)内部两侧设置有过滤网(4),所述工作台(2)两侧固定连接连接管(8),所述底架(1)内部下端设置有加热腔(13)且加热腔(13)与抽风机(12)管道连接,所述加热腔(13)内壁两侧固定连接电热板(14),所述底架(1)一端表面固定连接蓄电池(9),所述蓄电池(9)一端表面设置有开关(10),所述工作台(2)一端表面固定连接立柱(5),所述立柱(5)一侧上端固定连接电动气缸(6),所述电动气缸(6)下端固定连接密封壳(7),所述密封壳(7)内部上端固定连接伸缩柱(15),所述伸缩柱(15)外壁表面设置有减震弹簧(16),所述伸缩柱(15)下端固定连接热熔模具(17),所述密封壳(7)下端设置有密封层(18),所述密封壳(7)一侧固定连接导管(11)。
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