[实用新型]一种用于磁控溅射法生产透明导电薄膜的在线实时调控设备有效
| 申请号： | 201820233048.0 | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN207904362U | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 陆建嘉;高锦龙;孙朋超;张啸潮;朱家宽 | 申请（专利权）人： | 旭科新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 | 代理人： | 翁霁明 |
| 地址： | 314031 浙江省嘉兴市秀洲区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种用于磁控溅射法生产透明导电薄膜的在线实时调控设备，所述在线实时调控设备包括气路系统、实时监控系统、中转系统；其中气路系统包括三条气路管道以及残余气体成分检测装置，三条气路均装有气体流量计及电磁阀；实时监控系统包括装料系统、下料系统、传动系统、检测系统、标记系统和定位系统；其中装料系统和下料系统采用相同结构、分别包括二自由度直角坐标型机械手，承载盒及承载台；所述的传动系统包括带有固定卡槽的链条式传送带及电机；所述的检测系统包括透光率仪和方阻测试仪；所述的方法是：将测试到的与产品以相同参数制作的载玻片样品的透光性及方阻结果反馈至PLC，利用PLC调节气路来达到调节方阻及透光性的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 实时调控 实时监控系统 透明导电薄膜 磁控溅射法 传动系统 检测系统 气路系统 下料系统 装料系统 透光性 方阻 气路 成分检测装置 方阻测试仪 气体流量计 传送带 机械手 标记系统 残余气体 定位系统 二自由度 固定卡槽 结果反馈 气路管道 直角坐标 中转系统 承载盒 承载台 电磁阀 透光率 载玻片 电机 测试 生产 制作 | ||
【主权项】：
1.一种用于磁控溅射法生产透明导电薄膜的在线实时调控设备，包括气路系统、实时监控系统、中转系统，其特征在于：所述的气路系统包括三条气路管道（1）以及残余气体成分检测装置（2），三条气路均装有气体流量计及电磁阀；所述的实时监控系统包括装料系统、下料系统、传动系统、检测系统、标记系统和定位系统；其中装料系统和下料系统采用相同结构、分别包括二自由度直角坐标型机械手（3、6），承载盒（4、7）及承载台（5、8）；所述的传动系统包括带有固定卡槽（10）的链条式传送带（9）及电机（11）；所述的检测系统包括透光率仪（12）和方阻测试仪（13）。
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