[实用新型]玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置有效
申请号: | 201820241487.6 | 申请日: | 2018-02-09 |
公开(公告)号: | CN207866225U | 公开(公告)日: | 2018-09-14 |
发明(设计)人: | 彭开峰;李兆廷;石志强;李震;李俊生 | 申请(专利权)人: | 芜湖东旭光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
主分类号: | G01B21/32 | 分类号: | G01B21/32 |
代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人: | 陈庆超;桑传标 |
地址: | 241000 安徽省芜湖*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本公开涉及一种玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置,该定位装置包括用于承载待测量玻璃基板的定位平台,以及设置于该定位平台上的第一定位结构和第二定位结构,该第一定位结构用于定位待测量玻璃基板的第一边缘,该第二定位结构用于定位待测量玻璃基板的与该第一边缘相垂直的第二边缘,第一定位结构具有沿垂直于第一边缘的方向伸缩的第一伸缩端,第二定位结构具有沿垂直于第二边缘的方向伸缩的第二伸缩端。因此,通过第一伸缩件和第二伸缩件的伸缩功能,在对待测量玻璃基板进行接触定位后,能脱离对待测量玻璃基板的接触,以保证玻璃基板翘曲度测量过程免受定位装置的干涉影响,提高测量结果的真实性,降低翘曲度重复测量的频次,提高检验效率。 | ||
搜索关键词: | 定位结构 测量玻璃 基板 定位装置 玻璃基板翘曲 定位平台 测量仪 伸缩端 伸缩件 伸缩 垂直 测量过程 接触定位 伸缩功能 重复测量 垂直的 翘曲度 真实性 承载 干涉 脱离 检验 保证 | ||
【主权项】:
1.一种玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置,其特征在于,包括用于承载待测量玻璃基板的定位平台(1),以及设置于该定位平台(1)上的第一定位结构(11)和第二定位结构(12),该第一定位结构(11)用于定位所述待测量玻璃基板的第一边缘,该第二定位结构(12)用于定位所述待测量玻璃基板的与该第一边缘相垂直的第二边缘,并且所述第一定位结构(11)具有沿垂直于所述第一边缘的方向伸缩的第一伸缩端(110),所述第二定位结构(12)具有沿垂直于所述第二边缘的方向伸缩的第二伸缩端(120)。
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