[实用新型]一种组合硅芯单元体、组合硅芯系统以及还原炉有效
| 申请号： | 201820241578.X | 申请日： | 2018-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN208414629U | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 徐兰 | 申请（专利权）人： | 徐兰 |
| 主分类号： | C30B25/00 | 分类号： | C30B25/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610043 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种组合硅芯单元体，其包括组合硅芯和安装装置；组合硅芯包括至少三个硅芯单元，硅芯单元的第一侧组合在一起，相邻硅芯单元的第二侧之间具有间隙；安装装置包括安装座，安装座包括至少三个安装块，相邻安装块之间形成安装硅芯单元的单元安装槽。一种组合硅芯系统，其包括导电连接装置以及至少两个上述组合硅芯单元体，组合硅芯单元体通过导电连接装置连接。一种还原炉，其包括钟罩、底盘以及上述组合硅芯系统，组合硅芯系统安装于底盘。每个单元安装槽内安装独立的硅芯单元，一个安装座安装至少三个硅芯单元，增加单个安装座上与原料气发生化学反应的硅芯的表面积，提高晶体硅的沉积速度。 | ||
| 搜索关键词： | 硅芯 单元体 安装座 导电连接装置 安装装置 单元安装 安装块 还原炉 底盘 化学反应 单个安装 系统安装 晶体硅 原料气 沉积 钟罩 | ||
【主权项】：
1.一种组合硅芯单元体，其特征在于，其包括组合硅芯和安装装置；所述组合硅芯包括至少三个硅芯单元，所述硅芯单元的第一侧组合在一起，相邻所述硅芯单元的第二侧之间具有间隙；所述安装装置包括安装座，所述安装座开设有安装所述硅芯单元的单元安装槽。
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