[实用新型]用于标定光学终点检测模块的工装有效
| 申请号： | 201820242718.5 | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN207873939U | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 王军星;沈攀;郭振宇;赵德文;王同庆;路新春;雷殿波 | 申请（专利权）人： | 清华大学;天津华海清科机电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/013 | 分类号： | B24B37/013;B24B49/12 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于标定光学终点检测模块的工装，所述工装包括：托盘，光学终点检测模块设在托盘上，沿着托盘的周向上多个固定孔间隔开排布；多个支脚，分别与固定孔螺纹连接，且通过支脚上的固定件锁死；上盘，设在托盘上，上盘朝向托盘的一侧设有腔室，光学终点检测模块容纳在腔室内，上盘设有第一透光区域；抛光垫，设在上盘上表面，抛光垫上设有第二透光区域，第一透光区域和第二透光区域的位置对应布置以使得出射光线通过第一透光区域和第二透光区域射出。根据本实用新型的用于标定光学终点检测模块的工装，可调整出光角度，机械加工精度要求较低，加工周期短，造价低，可线下检测标定，拆装简单，可一次性装入CMP抛光盘内，可实现量产化。 | ||
| 搜索关键词： | 透光区域 光学终点检测 托盘 工装 标定 上盘 本实用新型 固定孔 抛光垫 支脚 光线通过 机械加工 加工周期 精度要求 螺纹连接 固定件 可调整 抛光盘 上表面 一次性 拆装 量产 排布 腔室 射出 锁死 装入 容纳 室内 检测 | ||
【主权项】：
1.一种用于标定光学终点检测模块的工装，其特征在于，所述光学终点检测模块设在所述工装内以调整所述光学终点检测模块的出光角度，所述工装包括：托盘，所述光学终点检测模块设在所述托盘上，沿着所述托盘的周向上多个固定孔间隔开排布；多个支脚，多个所述支脚分别与所述固定孔螺纹连接，且通过所述支脚上的固定件锁死固定在所述托盘的下表面上以调平所述托盘；上盘，所述上盘设在所述托盘上，所述上盘朝向所述托盘的一侧设有腔室，所述光学终点检测模块容纳在所述腔室内，所述上盘设有第一透光区域；抛光垫，所述抛光垫设在所述上盘的上表面，所述抛光垫上设有第二透光区域，所述第一透光区域和所述第二透光区域的位置对应布置以使得所述光学终点检测模块的出射光线通过所述第一透光区域和所述第二透光区域射出。
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