[实用新型]蚀刻液抽取过滤装置有效
申请号: | 201820243760.9 | 申请日: | 2018-02-09 |
公开(公告)号: | CN208003570U | 公开(公告)日: | 2018-10-26 |
发明(设计)人: | 周群飞;饶桥兵;杨颜忠 | 申请(专利权)人: | 蓝思科技(长沙)有限公司 |
主分类号: | B01D35/02 | 分类号: | B01D35/02;B01D29/11;B01D29/27;B67D7/76;C03C15/00 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 赵志远 |
地址: | 410100 湖南省长沙*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本实用新型公开一种蚀刻液抽取过滤装置,涉及化学减薄技术领域,以解决现有的抽液方式很难将槽底部的不溶物抽出并过滤掉的技术问题。本实用新型所述的蚀刻液抽取过滤装置,包括:防酸管,该防酸管的一端连通有抽液管组件、另一端连通有过滤机构,且防酸管上设置有防酸泵;抽液管组件包括:多个并列设置的抽液管,每个抽液管上沿其自身的长度方向开设有多个抽液孔。本实用新型提供的蚀刻液抽取过滤装置,能够将蚀刻过程中产生的氟硅酸盐不溶物迅速从蚀刻槽底部抽取出来,并通过过滤机构过滤,第一时间降低了氟硅酸盐不溶物在蚀刻液体中的浓度,对产品的外观起到了很好的保护和改善作用,装置结构简单,安装方便,能够快速导入。 | ||
搜索关键词: | 过滤装置 抽液管 蚀刻液 抽取 防酸 本实用新型 不溶物 蚀刻 氟硅酸盐 过滤机构 连通 过滤 安装方便 并列设置 化学减薄 装置结构 组件包括 抽液孔 蚀刻槽 抽液 抽出 | ||
【主权项】:
1.一种蚀刻液抽取过滤装置,其特征在于,包括:防酸管,所述防酸管的一端连通有抽液管组件、另一端连通有过滤机构,且所述防酸管上设置有防酸泵;所述抽液管组件包括:多个并列设置的抽液管,每个所述抽液管上沿其自身的长度方向开设有多个抽液孔。
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