[实用新型]一种用于超带宽声表面波滤波器设计的谐振器结构有效
申请号: | 201820245810.7 | 申请日: | 2018-02-11 |
公开(公告)号: | CN207706143U | 公开(公告)日: | 2018-08-07 |
发明(设计)人: | 周一峰;沈旭铭;陈景;V·S·库尔卡尼;吴长春;沈晓燕 | 申请(专利权)人: | 海宁市瑞宏科技有限公司 |
主分类号: | H03H9/25 | 分类号: | H03H9/25;G06F17/50 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 314400 浙江省嘉兴市海宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 超带宽声表面波滤波器在多个领域特别是通信领域具有巨大的需求,高机电耦合系数的谐振器是设计超带宽声表面波滤波器的关键所在。本实用新型提供了一种用于超带宽声表面波滤波器设计的谐振器结构,结构从上至下包括电极层1、压电基底层2、衬底层3。所述电极层材料为金(Au),铝(Al)或铜(Cu)。所述压电基底层材料为θ度Y切X传掺杂钛酸铅的铌铟镁酸铅三元铁电晶体(YX‑PIMN‑xPT)。所述衬底为碳化硅晶体(SiC),包括3C‑SiC和6H‑SiC。所述电极层标准化厚度为:0.01λ≤he≤0.15λ,λ为声表面波波长。所述压电基底层材料标准化厚度:0.3λ≤hPIMNT≤2λ,欧拉角为:‑90°≤θ≤‑50°和60°≤θ≤90°。 | ||
搜索关键词: | 声表面波滤波器 带宽 压电 基底层材料 谐振器结构 电极层 标准化 高机电耦合系数 声表面波波长 本实用新型 电极层材料 碳化硅晶体 从上至下 铁电晶体 通信领域 衬底层 基底层 镁酸铅 欧拉角 谐振器 钛酸铅 衬底 掺杂 | ||
【主权项】:
1.一种用于超带宽声表面波滤波器设计的谐振器结构,其特征在于,结构从上至下包括电极层(1)、压电基底层(2)、衬底层(3)。
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