[实用新型]铬平面靶热等静压装置有效
| 申请号： | 201820245947.2 | 申请日： | 2018-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN207904354U | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 张中美 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/15 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 林晓宏 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种铬平面靶热等静压装置，包括热等静压炉，热等静压炉具有用于放置靶材工件的炉腔，在热等静压炉的炉腔内填充有陶瓷珠，陶瓷珠为圆球体形状，且该陶瓷珠具有流动性；炉腔内的陶瓷珠的中部形成一靶材工件热等静压空间，靶材工件放置于靶材工件热等静压空间，在靶材工件与炉腔的内壁之间具有流动间隙；陶瓷珠填充满靶材工件与炉腔之间的流动间隙，且在靶材工件的上方覆盖有一层陶瓷珠而形成一陶瓷珠流动压盖层。本实用新型通过热等静压炉、靶材工件以及陶瓷珠等的配合，在热等静压的高温高压环境下，利用陶瓷珠的热形变较小和流动性，使得靶材工件的形变降到最低，减少了侧弯、形变等情况，提高了产品的质量，减少了材料报废，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷珠 靶材 炉腔 热等静压 热等静压炉 热等静压装置 本实用新型 流动间隙 平面靶 形变 高温高压环境 工件放置 热形变 压盖层 圆球体 侧弯 炉具 内壁 填充 生产成本 报废 覆盖 流动 配合 | ||
【主权项】：
1.铬平面靶热等静压装置，包括热等静压炉，热等静压炉具有用于放置靶材工件的炉腔，其特征在于：在热等静压炉的炉腔内填充有陶瓷珠，陶瓷珠为圆球体形状，且该陶瓷珠具有流动性；炉腔内的陶瓷珠的中部形成一靶材工件热等静压空间，靶材工件放置于靶材工件热等静压空间，在靶材工件与炉腔的内壁之间具有流动间隙；陶瓷珠填充满靶材工件与炉腔之间的流动间隙，且在靶材工件的上方覆盖有一层陶瓷珠而形成一陶瓷珠流动压盖层。
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