[实用新型]玻璃面板平整度快速测量装置有效
| 申请号： | 201820256158.9 | 申请日： | 2018-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN207963807U | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 张意贺;闫飞;唐翔;贺文华;植亮亮;方兴云;彭俊;刘承甲 | 申请（专利权）人： | 苏州精创光学仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于光学检测领域，尤其涉及一种玻璃面板平整度快速测量装置，包括测量框架，所述测量框架由上载板及下载板构成，所述上载板上设有供放置待测样品的测量工位，所述下载板上设有多个激光位移传感器，测量时多个所述激光位移传感器同时采集待测样品测量点与基准平面的高度差，提高平整度测量效率及测量精度，且本实用新型结构简单，测量结果稳定性高，下载板上设有X轴位移机构和Y轴位移机构，X轴位移机构和Y轴位移机构上分别设有可进行X轴方向和Y轴方向位移的X轴导向杆和Y轴导向杆，所述激光位移传感器设置在所述X轴导向杆和Y轴导向杆上，使本实用新型中激光位移传感器能够根据待测样品尺寸进行灵活调节，适用范围广，具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 激光位移传感器 测量 本实用新型 待测样品 下载板 快速测量装置 玻璃面板 平整度 上载板 平整度测量 光学检测 基准平面 测量点 高度差 工位 采集 灵活 应用 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃面板平整度快速测量装置，包括测量框架，所述测量框架由上载板及下载板构成，其特征在于，所述上载板上设有供放置待测样品的测量工位，所述下载板上设有多个激光位移传感器，多个所述激光位移传感器同时采集待测样品测量点与基准平面的高度差。
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