[实用新型]一种用于集成电路生产线上气瓶安全防护装置

摘要

本实用新型公开了一种用于集成电路生产线上气瓶安全防护装置，包括气管、管夹、气缸固定板、气缸、防护托架、半圆形防护板和气瓶接头螺母，所述气管通过管夹固定在气缸固定板上端面，所述气缸固定板下端面固定气缸，气缸的导杆末端连接防护托架，防护托架上焊接半圆形防护板，所述气瓶接头螺母连接气瓶，并位于半圆形防护板之中；所述气缸连接有电磁阀，电磁阀连接继电器，继电器连接气瓶柜PLC，气瓶柜PLC连接气体管理系统的主控制板。该装置一体式结构紧凑、简单，操作、控制简单方便；智能、安全、可靠，PLC自动控制；控制与执行机构安全隔离，达到集成电路生产线的安全防爆要求。

主权项

1.一种用于集成电路生产线上气瓶安全防护装置，其特征在于：包括气管（1）、管夹（2）、气缸固定板（3）、气缸（4）、防护托架（5）、半圆形防护板（6）和气瓶接头螺母（7），所述气管（1）通过管夹（2）固定在气缸固定板（3）上端面，所述气缸固定板（3）下端面固定气缸（4），气缸（4）的导杆末端连接防护托架（5），防护托架（5）上焊接半圆形防护板（6），所述气瓶接头螺母（7）连接气瓶，并位于半圆形防护板（6）之中；所述气缸（4）连接有电磁阀（8），电磁阀（8）连接继电器（9），继电器（9）连接气瓶柜PLC（10），气瓶柜PLC（10）连接气体管理系统的主控制板（11）。