[实用新型]一种用于紫外光刻机的高分辨率投影光学成像系统

摘要

本实用新型公开了一种用于紫外光刻机的高分辨率投影光学成像系统。它采用光轴旋转对称的同轴透射式光学结构，由前组和后组构成，前组和后组分别位于孔径光栏两侧；前组先将物进行一次缩小成像、再由后组进一步缩小至光刻平面；前组采用库克三片式结构、后组采用改进型的匹兹伐结构，前组、后组不仅可独立地消除自身的大部分几何像差，再由整体联合优化前组、后组，可进一步平衡剩余像差，最终将满足光刻要求的高质量的聚焦光斑成到工作面上。本实用新型采用透射式的非对称光学结构，仅由8片光学透镜组成，结构简单，加工与调试难度大大降低，制造成本低、稳定性好；具有数值孔径大、集光本领强、消色差、畸变小、成像性能优、分辨率高的特点。

主权项

1.一种用于紫外光刻机的高分辨率投影光学成像系统，其特征在于：它采用同轴透射式光学成像结构，沿光线入射方向，依次为前组成像系统、孔径光栏、后组成像系统和像平面；所述的前组成像系统采用库克三片镜式结构，光学元件依次为第一块双凸透镜（11）、双凹透镜（12）和第二块双凸透镜（13）；所述的后组成像系统由两组双胶合镜构成的匹兹伐结构和场镜组成，光学元件依次为第一组双胶合透镜组、第二组双胶合透镜组和弯月形厚透镜（33），所述的第一组双胶合透镜组由第一片正透镜（311）和平凹透镜（312）构成，所述的第二组双胶合透镜组由弯月形负透镜（321）和第二片正透镜（322）构成；所述光学成像系统的总焦距f为3489mm≤f≤3519mm；前组成像系统焦距f1为125mm≤f1≤130mm，后组成像系统焦距f3为25mm≤f3≤30mm。