[实用新型]一种机台有效
| 申请号： | 201820269507.0 | 申请日： | 2018-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN207818519U | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 蔡坤;范荣伟;王恺;倪棋梁;龙吟;陈宏璘;郭浩;沈萍 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种机台，用于加热晶圆，包括：承载结构以及多根灯管，所述多根灯管围绕所述承载结构设置，以使所述多根灯管的照射范围足以覆盖所述承载结构上所承载的晶圆。所述机台内围绕所述承载结构设置有多根灯管，用于给晶圆加热升温，既能使所述机台内所有的晶圆升温，又能使晶圆整体受热均匀。所述机台侧体壁上设置有通气孔和排气孔，所述通气孔通入的气体将灯管的温度带入所述机台内，使晶圆充分接触到热气流，从而使晶圆受热均匀，降低由于晶圆单侧温度过低导致水汽凝结物和变性光刻胶结合产生污染物的可能性。所述机台设置有温度检测装置，用于检测所述机台内晶圆的升温情况，使升温过程更加精确。 | ||
| 搜索关键词： | 机台 晶圆 灯管 承载结构 受热均匀 通气孔 温度检测装置 本实用新型 充分接触 加热升温 升温过程 水汽凝结 侧体壁 光刻胶 排气孔 热气流 变性 加热 污染物 照射 承载 检测 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种机台，用于加热晶圆，其特征在于，包括：承载结构以及多根灯管，所述多根灯管围绕所述承载结构设置，以使所述多根灯管的照射范围足以覆盖所述承载结构上所承载的晶圆。
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