[实用新型]带有复合磁场的类金刚石涂层制备装置

摘要

本实用新型公开了一种带有复合磁场的类金刚石涂层制备装置，该类金刚石涂层主要是通过利用装配有可旋转的磁芯的中心阳极或纵向电磁线圈，以及正八角机上装配的八组工艺组件形成的闭合磁场，所形成复合磁场下的等离子体制备类金刚石涂层，八组有磁场控制的工艺组件形成闭合的环形磁场，中心阳极的可旋转磁芯上装配有八道磁靴，可与相对应的工艺组件形成横向磁场，纵向线圈在接通电流后可在真空室内形成纵向磁场，两种或三种磁场的相互作用可在真空腔体内形成复杂的复合磁场，可增加电子的自由程，提高粒子的离化率，从而增加碳粒子的活性，获得高质量的类金刚石涂层。

主权项

1.一种带有复合磁场的类金刚石涂层制备装置，包括腔体、中心阳极、工艺组件以及纵向线圈，其特征在于：腔体包括有由呈正多面体分布的多个腔壁面组成的腔壳、以及设置于腔壳上下两端的上、下顶盖，机腔体内为真空腔室，中心阳极呈纵向设置于真空腔室内的中心位置，所述的纵向线圈包括有两只且分别设置于上、下顶盖对应中心阳极的轴向两侧位置的抽气口处，所述的中心阳极包括有阳极管，以及设置于阳极管并呈纵向分布且旋转设置于机腔体上的可旋转磁芯，所述工艺组件数量与腔壁面的数量相对应并一一安装于腔壁面上，该工艺组件为磁场控制的粒子源，且多组工艺组件的磁场相互构成闭合的环形磁场，所述可旋转磁芯上设置有纵向设置且与腔壳上的多个腔壁面一一位置对应的磁靴，该磁靴内设置有多组磁铁并构成与该磁靴所对应的工艺组件的横向磁场，横向磁场与纵向线圈通电形成的纵向磁场以及工艺组件的磁场构成复合磁场。