[实用新型]一种用于检测三氯氢硅中痕量杂质的前处理装置

摘要

本实用新型涉及多晶硅生产中间产物三氯氢硅杂质检测前处理装置，特别涉及一种用于检测三氯氢硅中痕量杂质的前处理装置。本实用新型的实施例中提供的用于检测三氯氢硅中痕量杂质的前处理装置。氮气(惰性气体)通过进气管进入样品瓶，对三氯氢硅进行吹扫挥发，混合气体由排气管排出，设置进气调节阀以及排气调节阀对进气量和排气量进行调节，实现了氮气的稳定进入和混合气体的稳定排出，运行稳定，减少了人员的劳动强度。设置与样品瓶相吻合的电加热套且与控制装置电连接，电加热套加热均匀且实现自动启停，缩短工作时间，提高工作效率。在瓶体与瓶盖之间设置密封圈，既保证了密封性，又起到洁净作用。

主权项

1.一种用于检测三氯氢硅中痕量杂质的前处理装置，其特征在于，包括：样品瓶，所述样品瓶包括瓶体、瓶盖以及设置在所述瓶体与所述瓶盖之间的密封圈；多个用于放置所述样品瓶的瓶座，所述瓶座底部设置有重力传感器，所述瓶座内设置有与所述样品瓶相吻合的电加热套；用于向所述样品瓶通入气体的进气管，所述进气管设置有进气开关阀以及进气调节阀，所述进气管与所述样品瓶连通；用于将所述样品瓶中的气体排出的排气管，所述排气管设置有排气开关阀以及排气调节阀，所述排气管与所述样品瓶连通；控制装置，所述控制装置与所述重力传感器电连接，所述控制装置与所述电加热套电连接，所述控制装置与所述进气开关阀以及所述排气开关阀电连接；所述控制装置与所述进气调节阀以及所述排气调节阀电连接。