[实用新型]一种复合分子泵

摘要

本实用新型涉及分子泵技术领域，尤其涉及一种复合分子泵，包括泵壳、机芯壳体、转轴、转子和定子，机芯壳体的上部的外周设有第一导流槽以形成第一牵引级定子，第一导流槽的上端与机芯壳体的内部连通；转子包括位于上部的涡轮级转子和位于下部的牵引级转子，牵引级转子与第一牵引级定位对应设置，且牵引级转子的外周设有第二导流槽，定子套设于转子上，且定子包括第一牵引级定子、与涡轮级转子对应设置的涡轮级定子和与牵引级转子对应设置的第二牵引级定子。本实用新型在机芯壳体上开设第一导流槽形成第一牵引级定子，在转子转动时，机芯壳体内的气体从第一导流槽向出气口方向流动，使得机芯壳体内真空度提高，从而抑制机芯壳体内空气向高真空区泄露。

主权项

1.一种复合分子泵，其特征在于：包括泵壳、机芯壳体、转轴、转子和定子，所述机芯壳体的上端敞口，所述转子套设于所述机芯壳体的上部，所述转轴竖直设于所述机芯壳体内且所述转轴的上端与所述转子连接，用于带动所述转子转动，所述机芯壳体的上部的外周设有第一导流槽以形成第一牵引级定子，所述第一导流槽的上端与所述机芯壳体的内部连通；所述转子包括位于上部的涡轮级转子和位于下部的牵引级转子，所述牵引级转子与所述第一牵引级定子对应设置，且所述牵引级转子的外周设有第二导流槽；所述定子套设于所述转子上，且所述定子包括第一牵引级定子、与所述涡轮级转子对应设置的涡轮级定子和与所述牵引级转子对应设置的第二牵引级定子；所述泵壳套设于所述定子上，且所述泵壳的上端设有进气口，所述泵壳的侧壁上设有出气口，所述出气口与所述第一导流槽及第二导流槽连通。