[实用新型]一种高效辉光放电清洗的真空镀膜机有效
| 申请号： | 201820273996.7 | 申请日： | 2018-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN208087720U | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 赵中红;刘伟;胡晓忠 | 申请（专利权）人： | 温州驰诚真空机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02 |
| 代理公司： | 温州名创知识产权代理有限公司 33258 | 代理人： | 陈加利 |
| 地址： | 325000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种高效辉光放电清洗的真空镀膜机，包括壳体，壳体内设置有真空腔，壳体内设置有辉光放电清洗机构，辉光放电清洗机构包括阴极放电棒以及电极座，阴极放电棒沿轴向的一端固定连接于电极座，另一端延伸至真空腔内，阴极放电棒贯穿开设有分隔槽，阴极放电棒由分隔槽分为第一棒体及第二棒体，第一棒体设置有第一电离面，第二棒体设置有第二电离面，第一电离面与第二电离面平行设置。采用上述方案，提供一种在阴极放电棒上设置分隔槽，从而形成相向第一电离面及第二电离面，使得第一电离面及第二电离面相互作用而使辉光效率增强，从而增强刻蚀效率的一种高效辉光放电清洗的真空镀膜机。 | ||
| 搜索关键词： | 电离 阴极 辉光放电清洗 放电棒 棒体 真空镀膜机 分隔槽 电极座 真空腔 体内 本实用新型 刻蚀效率 平行设置 效率增强 辉光 壳体 相向 轴向 贯穿 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种高效辉光放电清洗的真空镀膜机，包括壳体，所述壳体内设置有用于真空镀膜的真空腔，所述壳体外侧设置有用于进出料的进料口以及用于抽气的抽气口，所述进料口与抽气口与真空腔连通，所述壳体内设置有用于清洗壳体表面的辉光放电清洗机构，所述辉光放电清洗机构包括呈圆柱长条状的阴极放电棒以及用于连接阴极的电极座，所述阴极放电棒沿轴向的一端固定连接于电极座，另一端延伸至真空腔内，其特征在于：所述阴极放电棒沿径向贯穿开设有分隔槽，所述阴极放电棒由分隔槽分为第一棒体及第二棒体，所述第一棒体朝向第二棒体侧设置有第一电离面，所述第二棒体朝向第一棒体侧设置有第二电离面，所述第一电离面与第二电离面平行设置。
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