[实用新型]一种单晶硅棒切割工装有效
申请号: | 201820276812.2 | 申请日: | 2018-02-27 |
公开(公告)号: | CN207930899U | 公开(公告)日: | 2018-10-02 |
发明(设计)人: | 王全文;杨蛟;李鹭 | 申请(专利权)人: | 成都青洋电子材料有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00 |
代理公司: | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人: | 袁英 |
地址: | 611200 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶硅棒切割工装,它包括油缸(1),油缸(1)活塞杆的末端固设有导轨(2),导轨(2)内开设有燕尾形槽(3),燕尾形槽(3)内设置有可沿燕尾形槽(3)前后滑动的滑块(4),滑块(4)的底部经胶粘层A(5)粘接有树脂条(6),树脂条(6)的底部经胶粘层B(7)粘接有前后设置的单晶硅棒(8),单晶硅棒(8)的底部设置有沿其轴向布置的胶条(9)。本实用新型的有益效果是:结构紧凑、很好保护切制成的单晶硅片、方便收集切制成的单晶硅片、操作简单。 | ||
搜索关键词: | 燕尾形槽 单晶硅棒切割 本实用新型 单晶硅棒 单晶硅片 胶粘层 树脂条 工装 导轨 滑块 油缸 粘接 前后滑动 前后设置 轴向布置 活塞杆 胶条 内开 | ||
【主权项】:
1.一种单晶硅棒切割工装,其特征在于:它包括油缸(1),所述油缸(1)活塞杆的末端固设有导轨(2),导轨(2)内开设有燕尾形槽(3),燕尾形槽(3)内设置有可沿燕尾形槽(3)前后滑动的滑块(4),滑块(4)的底部经胶粘层A(5)粘接有树脂条(6),树脂条(6)的底部经胶粘层B(7)粘接有前后设置的单晶硅棒(8),单晶硅棒(8)的底部设置有沿其轴向布置的胶条(9)。
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