[实用新型]一种硅片输送机构

摘要

本实用新型公开了一种硅片输送机构，包括驱动装置、主动链轮、从动链轮和传送链，所述驱动装置驱动所述主动链轮，所述传送链套设在所述主动链轮和所述从动链轮上，所述传送链上设有料盒；本实用新型通过链轮和链条对硅片进行传送，并采用料盒容纳硅片对硅片进行定位，与现有技术相比，本实用新型不仅负重能力更强，而且可以大大提高硅片在传送过程中的平稳，防止硅片发生磕碰。

主权项

1.一种硅片输送机构，其特征在于，包括驱动装置(1)、主动链轮(2)、从动链轮(3)和传送链(4)，所述驱动装置(1)驱动所述主动链轮(2)，所述传送链(4)套设在所述主动链轮(2)和所述从动链轮(3)上，所述传送链(4)上设有料盒(5)。