[实用新型]一种带有过滤功能的金属弧靶

摘要

本实用新型涉及一种带有过滤功能的金属弧靶，包括安装座，安装座上设置有金属靶源以及电极座，金属靶源上设置有溅射面，安装座位于溅射面位置设置有过滤挡板，过滤挡板包括沿远离溅射面外径逐渐变小的若干环状挡板以及封闭外径最小环状挡板环口的环口封闭板，相邻环状挡板中，外径较大的环状挡板的内径小于外径较小的环状挡板的外径，相邻环状挡板之间设置有用于连接两环状挡板的连接件。采用上述方案，提供一种通过在溅射面位置设置层层相叠的环状挡板构成过滤挡板，使得溅射出来的金属颗粒撞击于环状挡板上而无法到达被镀金属表面，而电子及金属离子可通过外加磁场引出的方式穿过过滤挡板，从而实现高质量的多弧离子镀的一种带有过滤功能的金属弧靶。

主权项

1.一种带有过滤功能的金属弧靶，包括安装座，所述安装座上设置有用于镀至被镀工件表面的金属靶源以及与阴极相连的电极座，所述金属靶源上设置有一受轰击并溅射出电子、金属离子及金属颗粒的溅射面，所述金属靶源连接设置于电极座，其特征在于：所述安装座位于溅射面位置设置有用于过滤溅射面上溅射出来的金属颗粒的过滤挡板，所述过滤挡板包括沿远离溅射面外径逐渐变小的若干环状挡板以及用于封闭外径最小的环状挡板的环口的环口封闭板，相邻所述环状挡板中，外径较大的环状挡板的内径小于外径较小的环状挡板的外径，相邻所述环状挡板之间设置有用于连接两环状挡板的连接件。