[实用新型]一种基片装夹装置有效
| 申请号： | 201820285583.0 | 申请日： | 2018-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN208054442U | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 刘旭 | 申请（专利权）人： | 北京创昱科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 周放;张应 |
| 地址： | 102299 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基片装夹装置，包括：设置在载板上的基座，所述基座与溅射源位于所述载板的相对两侧；与所述基座轴连接的压片，且所述压片用于将基片压装在所述载板上；设置在载板的远离基座的一侧的驱动机构，压片处的载板上设置有通孔，所述驱动机构穿过所述通孔，且用于驱动所述压片旋转；阻挡件，所述阻挡件位于所述基片与所述通孔之间，且所述阻挡件设置在所述压片与所述载板之间。本实用新型提供的基片装夹装置，通过在基片与通孔之间设置阻挡件，且阻挡件位于压片与所述载板之间，从而实现对溅射材料从通孔到达基片侧围通道的阻断，避免溅射材料通过通孔绕镀到基片周侧；本实用新型结构简单，应用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 通孔 压片 阻挡件 本实用新型 装夹装置 载板 溅射材料 驱动机构 相对两侧 基座轴 溅射源 侧围 压装 穿过 驱动 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基片装夹装置，所述基片装夹装置包括：设置在载板上的基座，所述基座与溅射源位于所述载板的相对两侧；与所述基座轴连接的压片，且所述压片用于将基片压装在所述载板上；设置在载板的远离基座的一侧的驱动机构，压片处的载板上设置有通孔，所述驱动机构穿过所述通孔，且用于驱动所述压片旋转；其特征在于，所述基片装夹装置还包括：阻挡件，所述阻挡件位于所述基片与所述通孔之间，且所述阻挡件设置在所述压片与所述载板之间。
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