[实用新型]一种基于LCOS技术的曝光机有效
| 申请号： | 201820287326.0 | 申请日： | 2018-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN207965473U | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 孙雷;张洪波;张婧姣 | 申请（专利权）人： | 联士光电（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于LCOS技术的曝光机，包括光源、偏振分光元件PBS、LCOS、投影系统和待曝光工件。其中光源发出的光中p型偏振光通过偏振分光元件PBS后入射到高分辨率的LCOS上，LCOS反射的光为s型偏振光，经偏振分光元件PBS反射后进入投影系统，通过投影系统投射到待曝光工件，使待曝光工件形成曝光。此曝光机并不需要掩膜形成图案，可减少工艺流程及生产成本。由于LCOS具有高分辨率特点，因而可以实现高分辨率高精度的曝光，此曝光机对于推动我国电子产品行业的发展具有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光机 偏振分光元件 高分辨率 曝光工件 投影系统 偏振光 反射 光源 本实用新型 重要意义 曝光 工艺流程 投射 入射 掩膜 电子产品 生产成本 图案 | ||
【主权项】：
1.一种基于LCOS技术的曝光机，其特征在于，包括光源（1）、偏振分光元件PBS（2）、LCOS（3）、投影系统（4）和待曝光工件（5），其中光源（1）发出的光中p型偏振光通过偏振分光元件PBS（2）后入射到高分辨率的LCOS（3）上，LCOS（3）反射的光为s型偏振光，经偏振分光元件PBS（2）反射后进入投影系统（4），通过投影系统（4）投射到待曝光工件（5），使待曝光工件（5）形成曝光，为缩小曝光机整体体积，所述曝光机在光路上任意位置加入一个或多个反射镜或棱镜，对光路进行折叠。
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