[实用新型]一种带有中心承片圈的蒸镀装置有效
| 申请号： | 201820292349.0 | 申请日： | 2018-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN207891416U | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 王玉泉 | 申请（专利权）人： | 丹东英普朗特科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;H01L21/687 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 俞鲁江 |
| 地址： | 118009 辽宁省丹*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种带有中心承片圈的蒸镀装置，包括电机、支架、支撑臂、行星锅及坩埚；电机带动支架旋转，支撑臂的一端与支架固定，支撑臂的另外一端与行星锅的转轴轴接；行星锅在轨道上自转；电子束轰击坩埚内的源，源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅内，从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆上；行星锅上设置多个通孔，所述通孔内设置承片圈，硅晶圆设置在所述承片圈内的凸台上，硅晶圆的外侧设置盖板，所述盖板外侧与锅盖抵接；所述锅盖固定在行星锅转轴上。本实用新型的优点是：保证了一次蒸镀能加工更多数量的硅晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 行星 硅晶圆 承片 支撑臂 本实用新型 蒸镀装置 盖板 锅盖 自转 通孔 支架 坩埚 蒸发 电子束轰击 电机带动 外侧设置 支架固定 转轴轴 抵接 蒸镀 转轴 电机 轨道 加工 保证 | ||
【主权项】：
1.一种带有中心承片圈的蒸镀装置，其特征在于：包括电机、支架、支撑臂、行星锅及坩埚；电机带动支架旋转，支撑臂的一端与支架固定，支撑臂的另外一端与行星锅的转轴轴接；行星锅在轨道上自转；电子束轰击坩埚内的源，源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅内，从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆上；行星锅上设置多个通孔，所述通孔内设置承片圈，锅盖固定在行星锅转轴上；所述锅盖内侧设置弹片，所述弹片的位置与盖板的位置对应；所述承片圈为圆盘型，所述承片圈的背部设置拉簧，所述拉簧一端固定在承片圈的圆心，另外一端固定有挂钩，所述挂钩嵌入承片圈径向端部的沟槽内并将硅晶圆固定在承片圈的另外一层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于丹东英普朗特科技有限公司，未经丹东英普朗特科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820292349.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于重稀土扩渗工艺的真空炉
- 下一篇：一种软体离子反应复合膜机
- 同类专利
- 专利分类
