[实用新型]一种主动互补调温真空退火炉有效
| 申请号： | 201820302501.9 | 申请日： | 2018-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN207973785U | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 汤海燕;叶国萍 | 申请（专利权）人： | 汇隆电子（金华）有限公司 |
| 主分类号： | C21D9/00 | 分类号： | C21D9/00;C21D1/773;C21D1/26;C21D11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 321000 浙江省金华市经*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及电子电路晶体制造设备领域，具体为一种主动互补调温真空退火炉。能迅速的进行补充式的调温，能迅速的稳定温度，提高温度控制。包括炉主体、补偿通气管、互补调温器，所述互补调温器通过补偿通气管和炉主体，其中：所述互补调温器包括调温仓、冷凝抽真空管、机械抽气真空管、冷凝抽真空泵、机械抽气真空泵，互补调温器包括调温仓内设置电加热片堆，补偿通气管连接冷凝抽真空泵，机械抽气真空管连接机械抽气真空泵，机械抽气真空管的进口和冷凝抽真空管相连接；调温仓通过补偿通气管和炉主体连接。 | ||
| 搜索关键词： | 调温 机械抽气 冷凝 调温器 通气管 真空管 炉主体 真空退火炉 抽真空泵 抽真空管 真空泵 本实用新型 电加热片 电子电路 制造设备 补充式 进口 | ||
【主权项】：
1.一种主动互补调温真空退火炉，包括炉主体（1）、补偿通气管（2）、互补调温器（3），所述互补调温器通过补偿通气管和炉主体，其特征是：所述互补调温器包括调温仓（4）、冷凝抽真空管（5）、机械抽气真空管（6）、冷凝抽真空泵（7）、机械抽气真空泵（8），互补调温器包括调温仓内设置电加热片堆（9），补偿通气管连接冷凝抽真空泵，机械抽气真空管连接机械抽气真空泵，机械抽气真空管的进口和冷凝抽真空管相连接；调温仓通过补偿通气管和炉主体连接。
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