[实用新型]单晶炉有效
| 申请号： | 201820311593.7 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN208121244U | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 王会敏;张浩强;颜超;王东;王宗均;赵贝 | 申请（专利权）人： | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 郝伟 |
| 地址： | 054001 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种单晶炉，涉及单晶炉设备技术领域，包括炉体、坩埚、导流筒、加热组件、电极柱、埚杆以及设置于炉体内壁上的保温层，保温层包括上部保温层、下部保温层以及设置于上部保温层内侧的底部保温层，下部保温层为用于容纳废气管的环形构件。本实用新型提供的单晶炉，通过采用下部保温层的形式，既保证生产过程中整体的保温效果，又解决了废气管从保温层中拆卸难度大的技术问题，能够快速的对废气管的连接节点进行拆除，便于空气缓慢进入废气管中，进而将废气管中易燃气体氧化，然后方便的进行杂质清理操作，提高了废气管道的清理速度。 | ||
| 搜索关键词： | 保温层 废气管 单晶炉 本实用新型 单晶炉设备 底部保温层 保温效果 废气管道 环形构件 加热组件 连接节点 炉体内壁 生产过程 易燃气体 杂质清理 导流筒 电极柱 炉体 坩埚 埚杆 拆卸 容纳 拆除 保证 | ||
【主权项】：
1.单晶炉，包括炉体(100)、设置于所述炉体(100)内部的坩埚(200)、设置于所述坩埚(200)上方的导流筒(300)、设置于所述坩埚(200)外周的加热组件(400)、设置于所述加热组件(400)下方的电极柱(500)、设置于所述坩埚(200)的下方的埚杆(700)以及设置于所述炉体(100)内壁上的保温层(600)，其特征在于：所述保温层(600)包括上部保温层(610)、设置于所述上部保温层(610)下方的下部保温层(620)以及设置于上部保温层(610)内侧的底部保温层(630)，所述下部保温层(620)上设有用于容纳废气管的孔(650)，所述下部保温层(620)为环形构件且分别与所述上部保温层(610)和所述底部保温层(630)卡接。
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