[实用新型]晶圆片的光谱测试装置有效
| 申请号： | 201820312568.0 | 申请日： | 2018-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN209400406U | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 张栖源 | 申请（专利权）人： | 江西点亮科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/27 | 分类号： | G01N21/27 |
| 代理公司： | 北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙) 11562 | 代理人： | 宋平 |
| 地址： | 335400 江西省鹰*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了晶圆片的光谱测试装置，其结构包括装置本体、控制装置、旋钮、显示器、传感器、底座和电池，所述装置本体的底部设有底座，所述装置本体的上部前方位置设有伸缩按钮，所述伸缩按钮的中部位置设有固定架，所述固定架的上部设有旋钮，所述装置本体上部右侧位置设有显示器，所述底座的内部组从俄位置设有控制装置，所述控制装置的上部设有传输管，所述传输管的上部设有光源发射装置，所述光源发射装置的左侧上下位置设有扩光板，所述控制装置的上部右侧位置设有伸缩杆，所述装置本体右侧底部设有外接电源。该晶圆片的光谱测试装置，通过装置本体上的传感器及光源发射装置，方便了装置对晶圆片进行点阵测量，提高了测量数据的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 装置本体 控制装置 晶圆片 光谱测试装置 光源发射装置 底座 伸缩按钮 右侧位置 传输管 固定架 传感器 旋钮 显示器 本实用新型 点阵 测量数据 前方位置 上下位置 通过装置 外接电源 中部位置 扩光板 伸缩杆 测量 电池 | ||
【主权项】：
1.晶圆片的光谱测试装置，其结构包括装置本体（1）、控制装置（2）、传输管（3）、光源发射装置（4）、伸缩杆（5）、伸缩按钮（6）、扩光板（7）、固定架（8）、电极测试端子（9）、旋钮（10）、显示器（11）、传感器（12）、外接电源（13）、底座（14）和电池（15），其特征在于：所述装置本体（1）的底部设有底座（14），所述装置本体（1）的上部前方位置设有伸缩按钮（6），所述伸缩按钮（6）的中部位置设有固定架（8），所述固定架（8）的上部设有旋钮（10），所述装置本体（1）上部右侧位置设有显示器（11）；所述底座（14）的内部左侧位置设有控制装置（2），所述控制装置（2）的上部设有传输管（3），所述传输管（3）的上部设有光源发射装置（4），所述光源发射装置（4）的左侧上下位置设有扩光板（7），所述控制装置（2）的上部右侧位置设有伸缩杆（5），所述装置本体（1）右侧底部设有外接电源（13）。
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