[实用新型]一种层架式解耦的XY高速运动平台有效

专利信息
申请号: 201820313942.9 申请日: 2018-03-07
公开(公告)号: CN208045466U 公开(公告)日: 2018-11-02
发明(设计)人: 高健;张金迪;张揽宇;钟永彬;陈新;陈云;汤晖;贺云波 申请(专利权)人: 广东工业大学
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 张春水;唐京桥
地址: 510060 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型提供了一种层架式解耦的XY高速运动平台,包括:第一基座、第二基座、x轴运动模块、y轴运动模块和动平台;所述x轴运动模块安装在所述第一基座上;所述y轴运动模块安装在所述第二基座上;所述第一基座架空设置在第二基座上;所述动平台基于所述x轴运动模块进行x轴方向直线运动和/或基于所述y轴运动模块进行y轴方向直线运动。本实用新型采用并联解耦方式,结构简单,在工作中更容易保证动平台在运动方向的一致,有利于控制平面运动的轨迹轮廓精度,且该运动平台通过一种简单稳固的结构方式将x轴运动模块、y轴运动模块与动平台分隔在高度不同的平面内,减少了运动组件以及其连带运动的复杂性,实现了XY平面空间的最优利用。
搜索关键词: 动平台 本实用新型 高速运动 架式 解耦 种层 并联解耦 轨迹轮廓 架空设置 结构方式 控制平面 运动平台 运动组件 分隔 连带 稳固 保证
【主权项】:
1.一种层架式解耦的XY高速运动平台,其特征在于,包括:第一基座、第二基座、x轴运动模块、y轴运动模块和动平台;所述x轴运动模块的底面为第一平面,所述第一基座顶面与所述第一平面贴附连接;所述y轴运动模块的底面为第二平面,所述第二基座顶面与所述第二平面贴附连接;所述第一基座架空设置在第二基座顶面上;所述动平台的顶面为第三平面,所述第一平面与所述第二平面在不同高度上垂直于所述第三平面的中心轴;所述动平台基于所述x轴运动模块进行x轴方向直线运动和/或基于所述y轴运动模块进行y轴方向直线运动。
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