[实用新型]一种可调节阴极挡板有效
| 申请号： | 201820314327.X | 申请日： | 2018-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN208121194U | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 杨宏斌;冷庆吉;齐丽婧;郭仙;柳丽丽;李忠祥 | 申请（专利权）人： | 河北物华天宝镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 倪钜芳 |
| 地址： | 065599 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空磁控溅射设备技术领域，一种可调节阴极挡板，包括：L型挡板、伸缩机构及固定螺栓，阴极挡板设有两块轴对称的L型挡板相对放置，两块L型挡板之间设有开口，L型挡板的长板底端设有可调节的伸缩机构，L型挡板与伸缩机构通过固定螺栓连接，通过调节两块L型挡板形成的开口大小，当挡板开口变小时，相应的成膜速率会减慢，当挡板开口变大时，相应的成膜速率会加快，因此，可以达到调节磁控溅射阴极成膜速率从而优化大面积镀膜玻璃横向均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 伸缩机构 阴极挡板 可调节 开口 成膜 挡板 固定螺栓 真空磁控溅射设备 大面积镀膜玻璃 磁控溅射阴极 本实用新型 横向均匀性 相对放置 轴对称 长板 底端 减慢 优化 | ||
【主权项】：
1.一种可调节阴极挡板，包括：L型挡板(1)、伸缩机构(2)及固定螺栓(3)，其特征在于：阴极挡板设有两块轴对称的L型挡板(1)相对放置，两块L型挡板(1)之间设有开口，L型挡板(1)的长板底端设有可调节的伸缩机构(2)，L型挡板(1)与伸缩机构(2)通过固定螺栓(3)连接。
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