[实用新型]一种静电吸附装置监测系统有效
| 申请号： | 201820325806.1 | 申请日： | 2018-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN208013277U | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 汪海涛;徐绍宸;李富海;刘晨颖;陈思遥 | 申请（专利权）人： | 吸力奇迹（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00;G01R29/12 |
| 代理公司： | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577 | 代理人： | 李芙蓉;孙进华 |
| 地址： | 100191 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种静电吸附装置监测系统，应用于双极性静电吸盘；其中，双极性静电吸盘包括第一输入端和第二输入端；所述静电吸附装置监测系统包括：PLC控制器、电压表、电流表和电场强度探头；其中，电压表并联在第一输入端和第二输入端之间；电压表通过第一数据线与PLC控制器连接；第一数据线为I2C数据总线或RS232总线；第二输入端接入电流表；电流表通过第二数据线与PLC控制器连接；第二数据线为I2C数据总线或RS232总线；电场强度探头内埋于双极性静电吸盘接触层内；电场强度探头通过第三数据线与PLC控制器连接；第三数据线为I2C数据总线或RS232总线；电流表检测到的第一电流＞预设电流时，PLC控制器发出报警信号。 | ||
| 搜索关键词： | 电流表 输入端 数据线 静电吸附装置 监测系统 静电吸盘 数据总线 电压表 双极性 探头 第一数据 本实用新型 输入端接入 报警信号 预设电流 接触层 内埋 检测 应用 | ||
【主权项】：
1.一种静电吸附装置监测系统，其特征在于，应用于双极性静电吸盘(1)；其中，双极性静电吸盘(1)包括第一输入端(11)和第二输入端(12)；所述静电吸附装置监测系统包括：PLC控制器(2)、电压表(3)、电流表(4)和电场强度探头(5)；其中，电压表(3)并联在第一输入端(11)和第二输入端(12)之间；电压表(3)通过第一数据线(31)与PLC控制器(2)连接；第一数据线(31)为I2C数据总线或RS232总线；第二输入端(12)接入电流表(4)；电流表(4)通过第二数据线(41)与PLC控制器(2)连接；第二数据线(41)为I2C数据总线或RS232总线；电场强度探头(5)内埋于双极性静电吸盘(1)接触层内；电场强度探头(5)通过第三数据线(51)与PLC控制器(2)连接；第三数据线(51)为I2C数据总线或RS232总线；电流表(4)检测到的第一电流＞预设电流时，PLC控制器(2)发出报警信号。
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